半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀-OPTM 

R&D ！ QC ！ 植入設(shè)備！ 都可簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量！

測(cè)量目標(biāo)膜的絕對(duì)反射率，實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測(cè)試！ （分光干渉法）

半導(dǎo)體膜厚測(cè)試儀特 長(zhǎng)　Features

·膜厚測(cè)量中必要的功能集中于頭部

·通過顯微分光高精度測(cè)量絕對(duì)反射率（多層膜厚、光學(xué)常數(shù)）

·1點(diǎn)只需不到1秒的高速tact

·實(shí)現(xiàn)了顯微下廣測(cè)量波長(zhǎng)范圍的光學(xué)系（紫外～近紅外）

·通過區(qū)域傳感器控制的安全構(gòu)造

·搭載可私人定制測(cè)量順序的強(qiáng)大功能

·即便是沒有經(jīng)驗(yàn)的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù)

·各種私人定制對(duì)應(yīng)（固定平臺(tái)，有嵌入式測(cè)試頭式樣）

測(cè)量項(xiàng)目　Measurement item

·絕對(duì)反射率測(cè)量

·膜厚解析

·光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、ｋ：消光系數(shù)）

構(gòu)成圖

式 樣Specifications

※ 上述式樣是帶有自動(dòng)XY平臺(tái)。

※ release 時(shí)期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預(yù)定2016年9月。

＊ 膜厚范圍是SiO2換算。