準分子激光器工作過程中，混合氣會出現(xiàn)慢性損耗，會導致激光器性能下降，高壓氣瓶不是全密封的，需要定期給激光器充氣，充氣間隔可以是10^3~10^6個激光脈沖，以觀察到明顯的性能下降為準。

　　電極材料選用鎳或溴，不再使用基于有機材料制造的潤滑、密封、絕緣材料，這些措施可以使準分子氣體的壽命延長到10^8個脈沖量級。所謂準分子激光，是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光，之所以產(chǎn)生稱為準分子，是因為它不是穩(wěn)定的分子，是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學反應中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子，其壽命僅為幾十毫微秒。

　　準分激光是一種氣體脈沖激光，所產(chǎn)生的是波長為193nm的準分子激光，它是一種超紫外線光波，此波長的激光吸收范圍窄，激光的能量幾乎*被角膜上皮細胞和基質(zhì)吸收，超過這個范圍的組織不會吸收到激光，每一個激光脈沖可以切削0.2到0.25um厚度的生物組織，所以周圍的組織不會損傷。

　　準分子激光與生物組織作用時發(fā)生的不是熱效應，而是光化反應，所謂光化反應，是指組織受到遠紫外光激光作用時，會斷裂分子之間的結(jié)合鍵，將組織直接分離成揮發(fā)性的碎片而消散無蹤，對周圍組織則沒有影響，達到對角膜的重塑目的，能消融人眼角膜預計去除的部分空間精確度達細胞水平，不損傷周圍組織。它的波長短，不會穿透人的眼角膜，因此對于眼球內(nèi)部的組織沒有任何不良的作用。

　　準分子激光器采用高壓快放電激勵，主要包括：整機控制系統(tǒng)、激勵源、放電腔、諧振腔、水電氣輔助系統(tǒng)，一般還包括線寬壓窄模塊、脈沖展寬模塊等。激勵源產(chǎn)生高壓快脈沖，通過放電腔對工作氣體放電激勵形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，由于增益較大，一般采用平-平結(jié)構的諧振腔形成激光輸出。輔助系統(tǒng)提供配電、工作氣體、冷卻水等，激光器整體運行由整機控制系統(tǒng)控制。